UV|LED UVƎˊ

UV照射機

<EXR-1200FMUV>
全自動UV照射機

特徴 -Feature-

■300mmウエハーまで対応可能、ダイシングテープ用UV照射機です。 ■UV照射の際に大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 ■異なるウエハー又はフレームサイズへ迅速に変更可能 ■TTS独自のUV技術により、UVランプの長寿命化を実現 ■その他オプションも対応いたします。

仕様 -Utilities-

Power AC200-240V,Single Phase
Power Consumption 3KVA[with UV]
Clean Air Pressure(CDA) 0.5 – 0.6 MPa
( Min Flow Rate:120NL/min)
Vacuum 650 – 750mmHg
( Min Flow Rate:60NL/min)
Nitrogen(For UV) 0.2 – 0.4 MPa
( Min Flow Rate:20NL/min)
Exhaust Duct Capacity 1.0m3/min,10mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection)

装置配置 -System Layout-

Dimension(WxDxHmm) 1350×1250×1800
Net Weight Appx 500Kg

半自動もあります

半自動もあります