特徴 -Feature-
| ■300mmウエハー専用装置テープマウンターです。(オプションで8インチも可能) | ■ウエハーをフレームに貼り付ける際に大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 | ■極薄ウエハーにも対応できます。-削った後、又はリワークのウエハー等 | ■インラインにてUV照射、BGテープ剥離も可能です。(オプションにて対応) | ■TTS独自のUV技術により、UVランプの長寿命化を実現 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 2KVA[Without UV] 3KVA[With UV] |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Nitrogen(For UV) | 0.2 – 0.4 MPa ( Min Flow Rate:20NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 1.0m3/min,10mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1900×2500×1900 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1800Kg |
特徴 -Feature-
| ■300mmウエハーまで対応可能なウエハーマウンターです。(4,5,6,8インチも対応可能) | ■極薄ウエハー、割れやすい化合物半導体ウエハーにも対応できます。 | ■ロールカットテープ、プリカットテープに対応。 | ■その他オプション(バーコードプリント・リーダー、OCR、PCB、パネル対応等)も揃えております。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 3KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1860×1860×1900 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1200Kg |
