特徴 -Feature-
| ■300mmウエハー専用装置テープリムーバーです。（オプションで8インチも可能） | ■1カット方式又は2カット方式に対応しています。 | ■剝がす際に大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 | ■TTS独自のUV技術により、UVランプの長寿命化を実現 | ■極薄ウエハーにも対応できます。 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 2KVA[Without UV] 3KVA[with UV] |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Nitrogen(For UV) | 0.2 – 0.4 MPa ( Min Flow Rate:20NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 1.0m3/min,10mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1350×1750×1900 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 800Kg |
特徴 -Feature-
| ■200mm(8インチ)ウエハーまで扱うことが出来るテープリムーバーです。 （4、5、6、8インチ） |
■剝がす際に大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 | ■TTS独自のUV技術により、UVランプの長寿命化を実現 | ■極薄ウエハーにも対応できます。 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 2KVA[Without UV] 3KVA[With UV] |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Nitrogen(For UV) | 0.2 – 0.4 MPa ( Min Flow Rate:20NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 1.0m3/min,10mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1250×1390×1690 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 500Kg |
