特徴 -Feature-
| ■300mmウエハー専用装置バキュームラミネーターです。(オプションで8インチも可能) | ■1カット方式(F1)又は2カット方式(F2)に対応しています。 | ■2種類のカット方式(Vノッチカット可能) – デジタルカッターブレード方式、Pre-Cur方式 | ■貼り付けに大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能。 到達真空度により100Pa、装置構成が選定できます。 |
■貼り付けに大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能。到達真空度により100Pa、装置構成が選定できます。 | ■薄いウエハーにも対応できます。- 削った後、又はリワークのウエハー等 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 3KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 5.0m3/min,40mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1450×2000×2400 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1400Kg |
特徴 -Feature-
| ■300mmウエハー専用装置テープラミネーターです。（オプションで8インチも可能） | ■1カット方式又は2カット方式に対応しています。 | ■2種類のカット方式(Vノッチカット可能) – デジタルカッターブレード方式、クラス4・CO2レーザー方式 | ■貼り付けに大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 | ■薄いウエハーにも対応できます。- 削った後の薄い、又はリワークのウエハー等 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 3KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 5.0m3/min,40mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1350×1750×2100 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1200Kg |
特徴 -Feature-
| ■200mm(8インチ)ウエハーまで扱うことが出来るテープラミネーターです（4、5、6、8インチ） | ■2種類のカット方式(Vノッチカット可能) – デジタルカッターブレード方式、クラス4・CO2レーザー方式 | ■貼り付けに大事な部分のパラメーターは全てレシピにてコントロール可能 | ■薄いウエハーにも対応できます。- 削った後の薄い、又はリワークのウエハー等 | ■その他オプションも対応いたします。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 3KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 5.0m3/min,40mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1250×1390×1850 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 500Kg |
特徴 -Feature-
| ■パネル向け全自動ラミネーターになります。(サイズ対応はお問い合わせください) | ■TTSデジタルカッター方式で、パネルサイズに合わせてカットいたします。 | ■プリカットテープにも対応 | ■その他オプション(テープリムーブ、LEDUV照射、真空ラミネートなど)も対応。 |
仕様 -Utilities-
| Power | AC200-240V,Single Phase |
|---|---|
| Power Consumption | 3KVA |
| Clean Air Pressure(CDA) | 0.5 – 0.6 MPa ( Min Flow Rate:120NL/min) |
| Vacuum | 650 – 750mmHg ( Min Flow Rate:60NL/min) |
| Exhaust Duct Capacity | 5.0m3/min,40mmH20(100mm diameter SUS Flange duct connection) |
装置配置 -System Layout-
| Dimension(WxDxHmm) | 1800×1200×1900 |
|---|---|
| Net Weight | Appx 1200Kg |
